Az általunk szállított LMX precíziós keresztasztal szilícium Wafer szimultán felügyeletére szolgál.
A testre szabott keresztasztal az ultra lapos forgástengelyével mind X, mind Y irányban µ-pontossággal pozícionál, és 1 g gyorsulással rendkívül gyorsan dolgozik. Gránitra szerelt lineáris vezetőink, lineáris motorjaink és körasztalaink olyan mozgató egységgé válnak, amelyek az egyszerű kezelési feladatokon túlmenően minimális magassággal és egyúttal maximális üreges tengellyel még nagyon pontos pozicionálási feladatokat is ellátnak.
Szabványosított hajtáselemek az egyes modulokból ügyfélspecifikus precíziós rendszerré válnak. Számos korszerű, szabványosított rendszert kínál, amelyek moduláris felépítésüknek köszönhetően méretpontosan bármilyen alkalmazáshoz személyre szabhatók. Szakértőink Önökkel együtt dolgozzák ki a legalkalmasabb megoldást az Ön precíziós rendszeréhez. Tudjon meg többet precíziós tengelyeinkről és precíziós rendszereinkről itt.
Követelmények:
- µ pontosságú mozgások
- Extrém nagy gyorsulások
- Kiváló precizitás és ismétlési pontosság
HIWIN komponensek:
- DMT körasztal
- HG profilsínvezetés
- Útmérőrendszer
- LMC lineáris motorok
Alkalmazási területek: